麥氏真空計是利用隔膜在氣體分子作用下發生變形而測量壓強的真空計，其基本原理如圖1所示。真空計內部有兩個空間，隔膜右側連接真空，左側的參照空間可以保持在大氣壓或其他一定的真空度。
 

　　如果p1和p2之間的壓強差很小時，隔膜的變形也很小，要準確地測量真空度，需要隔膜更薄。可是，如果兩側壓強差很大，則隔膜可能發生變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強，這種真空計被稱為單電容真空計。在隔膜兩側分別設置電極而實現的差動式雙電容真空計，進一步提高了測量精度和范圍。
 

　　隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內爾鉻鎳鐵合金(Inconel)。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產品。
 

　　麥氏真空計測量的真空度與氣體成分無關，反應快、重復性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環境的真空測量。
 

　　選用麥氏真空計時應該注意以下事項：
 

　　(1)在設備要求的壓強范圍內，真空計是否有足夠的測量精度;
 

　　(2)被測氣體是否會對真空計造成損傷;
 

　　(3)真空計是否會對被測真空環境造成影響;
 

　　(4)真空計所測壓強是全壓還是分壓，是否已校準，是否與氣體種類有關;
 

　　(5)真空計能否實現連續測量，數值指示及反應時間如何;
 

　　(6)真空計的穩定性、可靠性、壽命。